氣浮定位運動裝置以大理石平臺為基座， 運用氣浮導軌和電機控制技術， 配合激光干涉儀最大測量范圍可達到 0-5m（任意長度可定制），在慢速運動情況下定位精度可達到 10nm,廣泛應用于國防航天行業的產品檢測。當定位精度在 2μm 情況下用直線電機控制氣浮運動，最大速度可達到 5m/s，配備相應測量軟件對機器進行控制，測量方便，用途廣泛。